Setra社 真空センサ特集
半導体産業用、特殊ガスや高純度ガスに使用できる真空センサ特集です。
半導体業界においては高精度な真空圧測定は必須であり、エッチング、蒸着、洗浄など様々なアプリケーションで真空センサが使用されており、真空チャンバー内の精密な圧力制御等は重要なプロセスです。高精度な真空圧測定は半導体のみならず、太陽光パネル、医薬、石油化学などでも求められることが多くあります。
真空センサを長年にわたり販売、実績も多数ある弊社から代理店をつとめている米国セトラ社と堀場エステック社の製品を今回ご紹介致します。
セトラ社 モデル730 真空キャパシタンスマノメータ
◆特徴◆
〇±0.5%(オプションで±0.25%)の高精度
〇測定範囲は10/20/100/200/1000Torr F.S.(1/2/10/100kPa F.S.)
〇溶接されたインコネルを接ガス部材質として使用。腐食性のある様々な媒体に対して高い耐性
〇型式によっては在庫もあり短納期対応可能（※納期は突発的に変更になる可能性があります。まずは弊社までご相談ください）
〇CE、RoHS対応
昨今の原材料不足・半導体需要の増加などが影響して、半導体は言わずもがな、様々な計装機器についても生産が間に合わず、長納期化しています。
真空センサも例外ではなく、「納期12ヵ月と言われた」、「納期回答が出てこない」なんてお声を聞くことも･･･。きっと納期でお困りのお客様は少なくないかと思います。
少しでも早く必要な方、他社メーカーの納期回答を見て購入を諦めてしまった方、など、お困りの方いましたら、ぜひご検討下さい
堀場エステック社 VGシリーズ 真空キャパシタンスマノメータ
VG-200
◆特徴◆
自己温調型の隔膜式真空計です。自己温調型では最小クラス。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。測定範囲は1/10/100/1000Torr F.S.です。
〇温調温度55℃/100℃。自己温調型としては最小クラス
〇独自の電極構造により高精度・高安定性を実現
〇腐食性に強いオールメタル構造
〇耐食性に優れたNi合金をダイヤフラムに採用
〇セットポイント出力(2点)
〇アラーム出力
〇専用ソフトによるセットポイント設定
〇ワンプッシュRe-Zero
〇供給電源±15VDC/24VDC
〇専用表示ユニットあり
VG-500
◆特徴◆
〇温調温度100℃～200℃。自己温調型としては最小クラス。材料やプロセスに応じた最適温度の設定が可能
〇独自の電極構造により高精度・高安定性を実現
〇腐食性に強いオールメタル構造
〇耐食性に優れたNi合金をダイヤフラムに採用
〇本体冷却用ガス供給が不要
〇トリップポイント出力(2点)
〇アラーム出力
〇専用ソフトによるトリップポイント設定
〇ワンプッシュRe-Zero
〇供給電源±15VDC/24VDC
〇温度カスタマイズ
