堀場エステック マスフローコントローラ/キャパシタンスマノメーター
マスフローコントローラ
SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフローコントローラは流体の質量流量計を計測・制御します。搭載された高性能流量センサおよび高分解能流量制御バルブにより、使用環境の変化や供給圧変動の影響を受けず、外部より電気信号により与えられる流量設定値に流量制御を行います。高精度化、多機能化への対応として、CPUを搭載したデジタルマスフローコントローラもラインナップしています。
SEC-Z500シリーズ
●流量範囲：10SCCM ～ 500SLM
●高精度：±1.0S.P(セットポイント)保証 ※設定流量>25%F.S.の時。設定流量≦25%F.S.の場合は±0.3%F.S.)
●高速対応：フルレンジ1秒以内（T98）
●マルチレンジ／マルチガス対応。お客様ご自身でマスフローコントローラの使用ガスや流量レンジを変更可能
●メタルシール仕様標準
●接ガス部内面研磨処理標準
SEC-Eシリーズ
●流量範囲：10SCCM ～ 200SLM
●高性能のサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載。基本性能は上位モデル同等の性能を持つ、ベーシックモデルのマスフローコントローラ
●MK3タイプは校正ガスを限定することにより、コストパフォーマンスを追求したモデル（校正ガス：N2／O2／Air／H2／He／Ar）
●大流量モデル（E431X／E441X）はMAX 200SLMまで対応
キャパシタンスマノメータ(VGシリーズ)
◆特徴◆自己温調型の隔膜式真空計です。自己温調型では最小クラス。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。様々な真空アプリケーションにご使用いただけます。測定範囲は1/10/100/1000Torr F.S.です。
VG-200
●温調温度55℃/100℃。自己温調型としては最小クラス
●独自の電極構造により高精度・高安定性を実現(※2020年12月現在。当社調べ）
●腐食性に強いオールメタル構造
●耐食性に優れたNi合金をダイヤフラムに採用
●セットポイント出力(2点)
●アラーム出力
●専用ソフトによるセットポイント設定
●ワンプッシュRe-Zero
●供給電源±15VDC/24VDC
●専用表示ユニットをご用意しております
VG-500
●温調温度100℃～200℃。自己温調型としては最小クラス。材料やプロセスに応じた最適温度の設定が可能
●独自の電極構造により高精度・高安定性を実現(※2020年12月現在。当社調べ）
●腐食性に強いオールメタル構造
●耐食性に優れたNi合金をダイヤフラムに採用
●本体冷却用ガス供給が不要
●トリップポイント出力(2点)
●アラーム出力
●専用ソフトによるトリップポイント設定
●ワンプッシュRe-Zero
●供給電源±15VDC/24VDC
●温度カスタマイズ
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