メルマガ2022.03.29　微差圧計って、どんなもの？

2022/03/29

圧力に携わる仕事をされている方なら一度は耳にしたことがある名称かと思いますが、「微圧計」「微差圧計」というジャンルのセンサがあります。微圧という用語の定義を調べると、500Pa（パスカル）以下の微小な圧力差を測るもの、とあります。
一般的に微差圧は＋圧力差を陽圧、－圧力差を陰圧と呼びます。

陰圧で代表的な使用方法としてはコロナ感染症で聞く「陰圧室」では、病室と廊下との間に－2.5Pa（パスカル）の差を設けることが推奨されています。2.5Paといったら、とても人の体で感じ取ることはできません。それくらい微小な圧力を微圧と呼び、微圧・微差圧を測定するセンサを「微差圧センサ」と呼びます。
陽圧で代表的な使用方法としては、1980代頃より半導体製造設備のクリーンルームが普及し室内と室外で＋圧力差がきちんと出ているかをモニターするのに使われてきました。又オフィスビルの空調設備や送風用ダクトの風量コントロール、エアーフィルタの目詰まり監視にも陽圧コントロール用微差圧センサとして使用されています。
圧力を検知して、計装信号である4-20mA（電流）または0-5V（電圧）に変換して出力します。

エア・ウォーター・メカトロニクスST事業部が代理店を務める米国セトラシステムズ社は、微差圧センサのパイオニアです。対応可能な最小レンジは0～25Paです。安価な汎用タイプから研究開発向けの高精度（±0.07％FS）タイプ、陰圧室用に特化したデジタル表示一体型、通信機能付きのものまで、幅広いラインナップを取り揃えており、国内での実績は多数ございます。

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