堀場エステック キャパシタンスマノメーター VG-200Sシリーズ
キャパシタンスマノメータ VG-200Sシリーズ
自己温調型では最小クラスのステンレスダイヤフラム構造タイプ
◆特徴◆自己温調型では最小クラスのステンレスダイヤフラム構造タイプ
接ガス部にオールステンレスダイヤフラム構造を採用した温調/非温調型のキャパシタンスマノメータです。自己温調型では最小クラス。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。半導体、FPD、太陽光発電、コーティング、等様々な真空アプリケーションにご使用いただけます。測定範囲は1/10/100/1000Torr F.S.です。
●非加熱、55℃温調、100℃温調を選択可能。自己温調型としては最小クラス
●独自の電極構造により高精度・高安定性を実現
●ダイヤフラムを含む接ガス部にSUS316Lを採用
●ワンプッシュRe-Zero
●供給電源±15VDC、24VDC対応
●CE、RoHS対応
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