計測に関する技術情報

圧力センサ・表示器のカタログ用語説明

1．測定と精度

測定値は「真の値」に対して必ず誤差を含みます。
しかし、より高精度のセンサになると、「真の値」に近い測定値を出力することが可能です。
センサに求める精度は使用状況によって大きく異なり、その為、高精度なセンサ、汎用精度のセンサ、ローコスト低精度のセンサ、とさまざまな個性を持ったセンサが用意されています。

用語	定義
精度	直線性、ヒステリシス、再現性を合計した、信号出力の誤差の最大値です。出力のフルスケールに対する百分率で表す方法（単位：％FS）と、出力の読み値（Reading）に対する百分率で表す方法（単位：％RS）があります。
標準出力信号	センサが本来出力するはずの、計算で求められる出力です。標準出力信号＝測定圧力×（出力フルスケール÷圧力レンジ）＋オフセット
直線性	圧力センサの標準出力を基準として、加圧時の信号出力の最大誤差を、出力に対する百分率（％FS、あるいは％RS）で表した数値です。ある圧力ではプラスの誤差、また別の圧力ではマイナスの誤差というように、センサの個体によって直線性の傾向は異なります。
ヒステリシス	センサを加圧したときと、その圧力から減圧したときに発生する、信号出力の差です。
再現性	同一の圧力を加えたとき、個々の測定値が一致する度合いです。経年劣化で再現性が悪化する場合はセンサの寿命で、校正しても良くなりません。
長期安定性	センサの特性が、仕様に定められた条件や長期的な経過時間（6ヶ月もしくは1年）内で、どれほど変化しないかを表します。
有効数字／分解能	有効数字とは、計測時の確度に必要な最大有効桁数です。精度に関連する用語で、精度を確定するのに必要な最小桁数までの最大桁数を表します分解能とは、正しい圧力測定の最大有効桁数の最小値です。表示器に関連する用語で、圧力値が変化したときに確認できる最小数値です。例として圧力レンジ100kPa、精度1.0%のセンサを考えると、4桁（小数点第1位まで）ということになります。

2．圧力範囲の種類

圧力を測定するときは、どこを基準とするかが大切です。

用語	定義
ゲージ圧	大気圧を基準として加圧か減圧、一方向の圧力をかけたときの圧力範囲です。大気開放状態では0を示します。
シールドゲージ圧	センサ内部に封入した大気圧を基準として加圧か減圧、一方向の圧力をかけたときの圧力範囲です。大気開放状態ではセンサ内の基準圧力との圧力差を示します。ゲージ圧の一種ですが、センサに悪影響のある高温・高湿度の場所などでの圧力測定に向いています。
連成圧	大気圧を基準として減圧から加圧まで同じセンサで計測する圧力範囲です。
絶対圧	真空を基準として計測する圧力範囲です。大気開放状態では現在の大気圧を示します。
一方向差圧	基準圧ポートにかけられた圧力を基準として加圧か減圧、一方向の圧力をかけたときの圧力範囲です。基準圧ポートと正圧ポートの圧力差を示します。
二方向差圧	基準圧ポートにかけられた圧力を基準として減圧から加圧まで同じセンサで計測する圧力範囲です。差圧の一種ですが、基準圧よりも低い圧力から高い圧力までを測定することが可能です。
耐圧	センサのフルスケール圧力を超えて加えることのできる最大の圧力です。過大圧力のために、センサの物理的な破損や直線性への影響など、精度やさまざまな仕様の悪化が起こる可能性があります。
ライン圧	差圧が0のときに、基準圧ポートと正圧ポートに等しくかかっている圧力を表します。ライン圧にはほとんどの場合、圧力レンジよりも高い圧力が設定されています。使用状況によっては差圧がごく微小でも、ライン圧は非常に高いという状況も考えられます。このときに配管の破損などが起こると、基準圧ポートと正圧ポートの間に圧力差が生じて耐圧を超えてしまう場合もあります。例として、基準圧ポートに400kPa、正圧ポートに410kPaの圧力をかけて、+10kPa付近の圧力差を計測するというアプリケーションを考えたとき、「ライン圧が400kPaかかっている状態で一方向差圧10kPaを測定する」と言えます。

3．Setra社の圧力検出方式：静電容量方式

Setra社のセンサは高精度・長期安定を実現するため、圧力の検出方法として静電容量方式を採用しています。
加圧されたダイヤフラム（受圧部）が変形して電極との間の距離が変わることによって、静電容量（キャパシタンス）の変化を検出し、圧力に換算します。
静電容量方式でも、ゲージ圧・絶対圧センサと差圧センサで検出方法は異なります。
以下の図3-1が204,205-2,280Eなどゲージ圧センサに、図2は239など差圧センサに採用されている方式です。

図3-1：静電容量方式の検出方法：ゲージ圧・絶対圧センサ
加圧されるとダイヤフラム-電極間の距離が離れ、静電容量が小さくなる。

図3-2：静電容量方式の検出方法：差圧センサ
加圧されるとダイヤフラム-電極間の距離が近づき、静電容量が大きくなる。

4．電気データと圧力継手

出力信号の形態としては、測定値自体を電圧・電流値と一致させる方法と、それとは別に広く普及している計装出力があります。
計装出力の例としては、0-5V、0-10V、1-5V、0-20mA、4-20mA などが一般的です。
仕様、用途の異なる複数のセンサを使用する際に便利であるように用意されています。