ホリバ（HORIBA）
サーマル式マスフローコントローラ
高信頼性のサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載。基本性能は上位モデル同等の性能を持つ汎用型マスフローコントローラ

タイプ：マスフローコントローラー
型番：SEC-E
メーカー：ホリバ
レンジ（最大値）：200 L/min