タイプ：マスフローコントローラー
型番：MCR-500 SLPM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：500 L/min
タイプ：マスフローコントローラー
型番：MCR-1000 SLPM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：1,000 L/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-0.5 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：0.5 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-1 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：1 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-2 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：2 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-5 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：5 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-10 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：10 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-20 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：20 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-100 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：100 ml/min
タイプ：マスフローメーター
型番：M-200 SCCM
メーカー：アリキャット
レンジ（最大値）：200 ml/min