●高精度、高速応答、高信頼性のベーシックモデル
●MK3タイプは校正ガスを限定することにより、コストパフォーマンスを追求したモデル（校正ガス：N2/O2/Air/H2/He/Ar）
●大流量モデル（E431X/E441X）は、MAX200SLMまで対応
[流量レンジ]
SEC-E40：10SCCM ～10SLM
SEC-E50：20SLM ～30SLM
E400X：50～200SLM
E500： 50～200SLM
[精度]
±1% F.S
[電源]
±15V
[通信]
0-5V。専用の制御ユニットPE Seriesをご用意しています
■SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフローコントローラは流体の質量流量計を計測・制御します。搭載された高性能流量センサーおよび高分解能流量制御バルブにより、使用環境の変化や供給圧変動の影響を受けず、外部より電気信号により与えられる流量設定値に流量制御を行います。高精度化、多機能化への対応として、CPUを搭載したデジタルマスフローコントローラもラインナップしています。
