推奨品●お客様ご自身でマスフローコントローラの使用ガスや流量レンジを変更可能
●デジタル補正機能搭載によるセットポイント精度実現
●メタルシール仕様標準
●接ガス部内面研磨処理標準
●高精度、高速(1秒以内)対応
[流量レンジ]
10SCCM ～500SLM
[精度]
±1.0% S.P.（設定流量＞25% F.S)
±0.3% F.S.（設定流量≦25% F.S.）
[電源]
±15V
[通信]
各通信モデルに対応。アナログ： 0-5V
デジタル： RS485（F-net）/DeviceNet?/EtherCAT?
■SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフローコントローラは流体の質量流量計を計測・制御します。搭載された高性能流量センサーおよび高分解能流量制御バルブにより、使用環境の変化や供給圧変動の影響を受けず、外部より電気信号により与えられる流量設定値に流量制御を行います。高精度化、多機能化への対応として、CPUを搭載したデジタルマスフローコントローラもラインナップしています。
