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[半導体 UHPガスフィルター]
GasPro™フィルターは、高純度ガス用半導体ガスフィルターとして特別に設計されています。オールメタルでコンパクトなデザインを実現。大流量・低圧損が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
[流量]0~400L/min[3nmフィルター]SUS316Lフィルターで0.003ミクロンのろ過精度[最大使用温度]200℃[最大使用圧力]20.6MPa
■溶接構造のオール焼結SUS316L■フィルターメディアやハウジングは全てSUS316L■腐食やパーティクルの発生を防ぐために、10Raに電解研磨されたSUS316Lステンレスハウジング■クリーンルーム製造クリーンルームで製造され、パーティクルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリーでのハンドリング作業■半導体向けの標準的な接続を準備詳細は型式コード表参照■100%ヘリウムリークテスト<1x10 -9 atm cc/sec
見積依頼、ご注文の際は左記型式コードご指定ください
【精度】
【方向】
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