推奨品
●微少流量 0.0025ml/min より大流量 10000 L/min までの計測が可能。 ※水素以外は5000L/minまで
●ターンダウン比 200:1 。
●標準校正のほか、高精度校正（5SCCM～500SLPMまで）も可能。標準校正： ±(0.8% of Reading + 0.2% F.S.)
●[高精度オプション] 高精度校正： ±(0.4% of Reading + 0.2% F.S.)
●特許技術により高い再現性を実現。 繰り返し精度：±0.2% F.S. ＜br/＞●フロントのスイッチ操作で簡単にガス種の切り替え可能。
[標準レンジ]
5～1000L/min
[精度]
±(0.8% of Reading + 0.2% of F.S.)
[標準応答時間]
100ms (調整可)
[動作温度範囲]
-10～60℃
[最大圧力]
1.0MPaG
[デジタル]
出力信号：RS-232C/RS-485/PROFIBUS/DeviceNet
出力データ：質量流量,容積流量,圧力,温度
[アナログ]
出力信号：DC0～5V
出力データ：質量流量
■マスフローメーターにはラミナーフローエレメントが組み込まれており、ガスは規則正しいラミナーフロー（層流）を形成して流れます。入口、出口において小さな圧力計が差圧を測定し、次のポアズイユの式により流量を求めることが出来ます。
