■真空圧制御と流量モニターが同時に可能
■入力コマンド信号0～10Vで0～－20kPaを比例制御
■計測流量範囲0～4SLPM。0～10Vで出力
■外付け圧力センサ(0～10V)をつけてフィードバック信号送り入力コマンド信号と比較し高度に圧力を制御。
■制御圧力範囲や計測流量範囲の変更をご希望される場合はご相談下さい
[圧力レンジ]
0～－20kPa
[流量]
0～4SLPM(0～10V出力)
[精度：圧力制御]
±0.25%FS
[精度：流量]
±2.0%読み値 ＋ ±0.5%FS
[コマンド入力信号]
0～10VDC
[外付け圧力センサ入力信号]
0～10VDC
※制御圧力範囲や計測流量範囲の変更をご希望される場合はご相談下さい
■ご注文の際は型式をご指定下さい。
