モデル106は、低粘度の液体を15mL/minのように小さい流量から50L/minのように大きい流量まで精度良く測定できる流量センサです。ペルトン型のマイクロタービン・ホイール(特許)を採用しているので、優れた再現性を持ち、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。接液部の材質は、テフロン、カルレッツ、サファイヤなので、フッ酸、その他の酸、CMPスラリー、溶剤、純水、現像液など、ほとんどすべての低粘度の液体に使用できます。
[標準レンジ]
15~100ml/nin,20~200ml/min,50~500ml/min,100~1000ml/min,200~2000ml/min,500~5000ml/min,1~10L/min,
[精 度]
±1.0%FS~±3.0%FS,(再現性) ±0.2%FS
[使用温度]
5~55℃,(オプション):5~85℃
[出 力]
4~20mA,0~5VDC,0~10VDC,パルス(Hz)
[使用粘度]
10cst以下
[接続部]
1/8",1/4",3/8"PFAチューブ,(オプション:1/4",3/8"PFAオスフレア)