特　徴

●微少流量 0.0025ml/min より大流量 10000 L/min※ までの計測が可能。　※水素以外は5000L/minまで
●ターンダウン比 200:1 。
●標準校正のほか、高精度校正も可能。標準校正： ±(0.6%読み値 or 0.1% F.S.の大きい方)
●[高精度オプション] 高精度校正： ±(0.5%読み値 or 0.1% F.S.の大きい方)
●特許技術により高い再現性を実現。 繰り返し精度：±（0.1%読み値 ＋0.02％F.S） ＜br/＞●フロントのスイッチ操作で簡単にガス種の切り替え可能。

仕　様

[標準レンジ]
0.005～1L/min,0.01～2L/min,0.025～5L/min,0.5～10L/min,0.1～20L/min
[精度]
±(0.8% of Reading + 0.2% of F.S.)
オプション：±(0.4% of Reading + 0.2% of F.S.)
[標準応答時間]
100ms (調整可)
[動作温度範囲]
-10～60℃
[最大圧力]
1.0MPaG
[デジタル]
出力信号：RS-232C/RS-485/PROFIBUS/DeviceNet
出力データ：質量流量,容積流量,圧力,温度
[アナログ]
出力信号：DC0～5V
出力データ：質量流量

備 考

■マスフローメーターにはラミナーフローエレメントが組み込まれており、ガスは規則正しいラミナーフロー（層流）を形成して流れます。入口、出口において小さな圧力計が差圧を測定し、次のポアズイユの式により流量を求めることが出来ます。

■ご注文の際はカタログをご参照の下さい。
■その他オプション、お問合せください。