●長期安定性に優れた静電容量方式
●高い破壊耐圧
●低い圧力損失
●優れたEMI/RFI特性
●優れた温度特性
●CEマーク対応
[標準レンジ]
0/-0.1~0.17MPa,0/-0.1~0.34MPa,0/-0.1~0.7MPa,0/-0.1~1.7MPa,
0/-0.1~3.5MPa,0/-0.1~7.0MPa,0/-0.1~20MPa
[精 度]
±0.25%FS,±1.0%読み値
[使用温度]
-40~85℃
[出力]
0~5VDC,0~10VDC,0.2~5.2VDC,0.2~10.2VDC,4~20mA
■集積ガスシステム(IGS)
■特殊ガス供給システム
■半導体製造プロセス
■ガスキャビネット