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Gas Pro™高性能ガスフィルター
PTFE 316L 最大流量2900L/min

Porvair社/TEM-300
Gas Pro™高性能ガスフィルター
PTFE 316L 最大流量2900L/min

[あらゆるグレードの半導体ガスとCDA]

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タイプ ガスフィルター
型番 TEM-300
メーカー ポールベア
レンジ(最大値) 2,900 L/min

特 徴

GasPro™フィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

仕 様

[流量]
0~2900L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa

性能特性

■PTFE/ポリプロピレン/Viton
■電解研磨316Lハウジング
腐食やパーティクルの発生を防ぐために、
10Raに電解研磨された316Lステンレスハウジング
■クリーンルーム製造
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリーでのハンドリング作業
(追加の事前調整はオプションです)
■複数の 接続オプション
標準の取り付けオプションには、面/ガスケットシール(1インチまで)、フェルール、突合せ溶接、トライクランプ(クローバー)サニタリーおよびフランジタイプを含むNPT特殊取り付けがあります。
■100%ヘリウムリークテスト
<1x10 -9 atm cc/sec

Porvair社/TEM-300<br />Gas Pro™高性能ガスフィルター<br />PTFE 316L 最大流量2900L/min

型式コード

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