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Gas Pro™高性能ガスフィルター
高温用(Max.400℃)グラスファイバー

Porvair社/TEM-700
Gas Pro™高性能ガスフィルター
高温用(Max.400℃)グラスファイバー

[半導体高温用途 ガスフィルター]

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タイプ ガスフィルター
型番 TEM-700
メーカー ポールベア
レンジ(最大値) 100 L/min

特 徴

GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。
本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10~20倍高いろ過性能があります。
清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。TEM-700は高温用途向けで(Max.400℃)、様々な接続タイプをご用意しており容易に取り付けられるようになっています。

仕 様

[0.01ミクロンフィルター]
最大66.6666%のろ過精度(@0.01ミクロン)
[最大使用温度]
400℃
[最大使用圧力]
1.72MPa

性能特性

■100%グラスマイクロファイバー(SUS316Lメッシュで支持)
■電解研磨316Lハウジング
腐食やパーティクルの発生を防ぐために、
10Raに電解研磨された316Lステンレスハウジング
■クリーンルーム製造
クリーンルームで製造され、パーティクルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリーでのハンドリング作業
■複数の接続オプション
詳細は型式コード表参照
■100%ヘリウムリークテスト
<1x10 -9 atm cc/sec

Porvair社/TEM-700<br />Gas Pro™高性能ガスフィルター<br />高温用(Max.400℃)グラスファイバー

型式コード

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見積依頼、ご注文の際は左記型式コードご指定ください

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