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Gas Pro™高性能ガスフィルター
オールフッ素樹脂 316L 最大流量30L/min

Porvair社/TEM-900
Gas Pro™高性能ガスフィルター
オールフッ素樹脂 316L 最大流量30L/min

[半導体ガスフィルター]

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タイプ ガスフィルター
型番 TEM-900
メーカー ポールベア
レンジ(最大値) 30 L/min

特 徴

GasPro™フィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

仕 様

[流量]
0~30L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
20.7MPa

性能特性

■PTFE/FEP/FKM
■電解研磨316Lハウジング
腐食やパーティクルの発生を防ぐために、
10Raに電解研磨された316Lステンレスハウジング
■クリーンルーム製造
クリーンルームで製造され、パーティクルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリーでのハンドリング作業
(追加の事前調整はオプション)
■複数の接続オプション
詳細は型式コード表参照
■100%ヘリウムリークテスト
<1x10 -9 atm cc/sec

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型式コード

Porvair社/TEM-900<br />Gas Pro™高性能ガスフィルター<br />オールフッ素樹脂 316L 最大流量30L/min

見積依頼、ご注文の際は左記型式コードご指定ください

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