特　徴

GasPro™フィルターは、高純度ガス用半導体ガスフィルターとして特別に設計されています。オールメタルでコンパクトなデザインを実現。大流量・低圧損が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

仕　様

[流量]
0～100Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
SUS316Lフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
200℃
[最大使用圧力]
20.6MPa

性能特性

■溶接構造のオール焼結SUS316L
■フィルターメディアやハウジングは全てSUS316L
■腐食やパーティクルの発生を防ぐために、
7Raに電解研磨されたSUS316Lステンレスハウジング
■クリーンルーム製造
クリーンルームで製造され、パーティクルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリーでのハンドリング作業
■半導体向けの標準的な接続を準備
詳細は型式コード表参照
■100%ヘリウムリークテスト
＜1x10 -9 atm cc/sec

型式コード

見積依頼、ご注文の際は左記型式コードご指定ください