半導体製造

半導体製造産業は、電子機器用集積回路を製造する際に多くのプロセスを含みます。そのため、プロセスの多くは複雑でセンシティブです。 Setra社は、安定した半導体製造をサポートするため複雑なタスクを解決することができる圧力管理ソリューションを提供しています。半導体製造業界では、さまざまな特定の業界が圧力管理ソリューションを利用しています。集積ガスシステム、ガスキャビネット、ならびに製薬およびバイオテクノロジープロセスといった用途を含みますが、アプリケーションは多岐にわたります。

レーザー干渉計やロードロックの管理や制御などの重要なアプリケーションでは、安定性と信頼性が半導体製造用センサーの最も重要な機能の2つです。高精度で信頼性の高いセンサは、現場プロセスの圧力管理、パージガス供給システム、または漏れ検出に最も重要です。圧力センサは、バルクガスおよび特殊ガスの供給から半導体集積回路のサブミクロン製造が行われるプロセスツールまで、ＧＤＳシステム全体にわたって使用されています。
半導体製造を前進させるのが真空センサです。高真空を測定することに加えて、真空センサは半導体の製造工程をよりクリーンでより効率的にする助けとなります。半導体業界で一般的な懸念に対応するために、Setra社の真空圧力センサは、読み値精度タイプで1Torrから1000Torrまでの圧力範囲をカバーしています（多数の型式コードから選択可能）。半導体製造業界で真空センサを使用している業界のアプリケーションは次のとおりです。

シリコンウェーハ製造
滅菌器
エッチングプロセス
成膜
真空炉
LEDサファイア
PE / LPVCD



セトラ社ブログ一覧へ