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差圧式マスフローコントローラ
微少フルスケール:0.5ml/min。混合ガス含め98種類以上のガスに対応

アリキャット (Alicat)
差圧式マスフローコントローラ
微少フルスケール:0.5ml/min。混合ガス含め98種類以上のガスに対応

アリキャット (Alicat)<br />差圧式マスフローコントローラ <br />微少フルスケール:0.5ml/min。混合ガス含め98種類以上のガスに対応推奨品
  • アリキャット (Alicat)<br />差圧式マスフローコントローラ <br />微少フルスケール:0.5ml/min。混合ガス含め98種類以上のガスに対応

[98種類のガス対応&表示器付]

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タイプ マスフローコントローラー
型番 MC-0.5 SCCM
メーカー アリキャット
レンジ(最大値) 0.5 ml/min

特 徴

●微少流量 0.0025ml/min より大流量 5000 L/min までの計測が可能。
●ターンダウン比 200:1 。
●標準校正のほか、高精度校正も可能。標準校正: ±(0.8% of Reading + 0.2% F.S.)
●[高精度オプション] 高精度校正: ±(0.4% of Reading + 0.2% F.S.)
●特許技術により高い再現性を実現。 繰り返し精度:±0.2% F.S. <br/>●フロントのスイッチ操作で簡単にガス種の切り替え可能。

仕 様

[標準レンジ]
0.0025~0.5ml/min,0.005~1ml/min,0.01~2ml/min
0.025~5ml/min,0.05~10ml/min,0.1~20ml/min,0.25~50ml/min
[精度]
±(0.8% of Reading + 0.2% of F.S.)
オプション:±(0.4% of Reading + 0.2% of F.S.)
[標準応答時間]
100ms (調整可)
[動作温度範囲]
-10~50℃
[最大圧力]
1.0MPaG
[デジタル]
出力信号:RS-232C/RS-485/PROFIBUS/DeviceNet
出力データ:質量流量,容積流量,圧力,温度
[アナログ]
出力信号:DC0~5V
出力データ:質量流量

備 考

■マスフローメーターにはラミナーフローエレメントが組み込まれており、ガスは規則正しいラミナーフロー(層流)を形成して流れます。入口、出口において小さな圧力計が差圧を測定し、次のポアズイユの式により流量を求めることが出来ます。

アリキャット (Alicat)<br />差圧式マスフローコントローラ <br />微少フルスケール:0.5ml/min。混合ガス含め98種類以上のガスに対応

■ご注文の際はカタログをご参照の下さい。
■その他オプション、お問合せください。

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