U701/702/705/706シリーズは、低粘度の液体を15mL/minのように小さい流量から50L/minのように大きい流量まで精度良く測定できる流量センサです。ペルトン型のマイクロタービン・ホイール(特許)を採用しているので、優れた再現性を持ち、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。プロセスを汚染させるパーティクルの発生がなく、長期間にわたって正確な測定が可能です。本シリーの接液部の材質はPTFE・サファイヤなので、フッ酸・その他の酸・CMPスラリー・溶剤・純水・現像液など、ほとんどすべての低粘度の液体に使用できます。
[標準レンジ]
15~100ml/nin,20~200ml/min,50~500ml/min,100~1000ml/min,200~2000ml/min,500~5000ml/min,1~10L/min,2~20L/min,3~30L/min,5~50L/min
[精 度]
±3.0%FS, (再現性) ±0.2%FS
[使用温度]
0~55℃,(オプション) 0~90℃
[出 力]
パルス出力
[使用粘度]
10cst以下
[接続部]
1/4",3/8",1/2",3/4",オスフレア
1/4",3/8",1/2",3/4",1",Super300
■U705,U706はストレートタイプの流路設計。
■U701,U702はU字型の流路設計の特徴を持ち
片面での配管,省スペースのデザインです。
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