●温調温度100℃～200℃。自己温調型としては最小クラス。材料やプロセスに応じた最適温度の設定が可能
●独自の電極構造により高精度・高安定性を実現(※2020年12月現在。当社調べ）
●腐食性に強いオールメタル構造
●耐食性に優れたNi合金をダイヤフラムに採用
●本体冷却用ガス供給が不要
●トリップポイント出力(2点)
●アラーム出力
●専用ソフトによるトリップポイント設定
●ワンプッシュRe-Zero
●供給電源±15VDC/24VDC
●温度カスタマイズ
[測定範囲]
1/10/100/1000Torr F.S.
[自己加熱温度]
100℃～200℃
[精度]
0.3%R.S（※1Torrは0.5%R.S)
[電源]
±24V(VG-527)、±15V(VG-521)
■隔膜真空計：ダイヤフラムの両側に圧力差を加えた時に生じる膜の変形から圧力（全圧）を知る真空計です。ダイヤフラムに受ける圧力を測定しているため、気体の種類による感度の差がありません。
■測定原理：真空計はダイヤフラムによって基準室と測定室に分けられ、基準室内は固定された電極が設置されており、真空に維持されています。測定室の圧力が変化することにより、ダイヤフラムがたわみます。電極とダイヤフラムの距離が変化することにより、これらの間に発生する静電容量も変化します。この静電容量の変化を計測し、圧力値に換算することにより、測定室内の圧力値を測定します。
