● ガスの凝縮を防ぎ、プロセスを汚染しない
●接ガス部にインコネルを使用
●各種の配管接続継手を用意
●ＣＥマーク対応
●制御温度４５℃、１００℃、１２３℃から選択
[標準レンジ]
0～1Torr,0～2Torr,0～10Torr,0～100Torr
0～1hPa,0～10hPa,0～100hPa,0～1000hPa
[精 度]
±0.15%FS読み値
[使用温度]
-15～40℃
[出力]
0～10VDC
■プラズマ蒸着／エッチング装置
■スパッタリング／ＰＶＤ／ＲＴＰ装置
■ＣＶＤ／イオン注入装置
■ＬＰＣＶＤ
■結晶成長装置／凍結乾燥機
