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セトラ社 (Setra) 真空計
圧力センサ モデル 760
真空センサ・コンパクト

タイプ 真空圧
型番 760
メーカー セトラ
レンジ(最大値) 10 Torr 一方向

特 徴

●ローコスト、小型サイズ
●優れた温度安定性
●優れたEMI/RFI性能
●接ガス部にインコネルを使用
●CEマーク対応

仕 様

[標準レンジ]
0~1Torr,0~5Torr,0~10Torr,0~20Torr,0~100Torr,
0~200Torr,0~500Torr,0~1000Torr
0~1kPa,0~5kPa,0~10kPa,0~20kPa,0~100kPa
[精 度]
±0.25%読み値,±0.15%読み値(オプション)
[使用温度]
0~50℃
[出力]
0~10VDC,0~5VDC

用 途

■半導体製造プロセス
■R&Dでのテスト、計測
■化学分析システム
■工業用OEMシステム

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