●微少流量 0.0025ml/min より大流量 5000 L/min までの計測が可能。
●ターンダウン比 200:1 。
●標準校正のほか、高精度校正も可能。標準校正: ±(0.8% of Reading + 0.2% F.S.)
●[高精度オプション] 高精度校正: ±(0.4% of Reading + 0.2% F.S.)
●特許技術により高い再現性を実現。 繰り返し精度:±0.2% F.S. <br/>●フロントのスイッチ操作で簡単にガス種の切り替え可能。
[標準レンジ]
0.005~1L/min,0.01~2L/min,0.025~5L/min,0.5~10L/min,0.1~20L/min
[精度]
±(0.8% of Reading + 0.2% of F.S.)
オプション:±(0.4% of Reading + 0.2% of F.S.)
[標準応答時間]
100ms (調整可)
[動作温度範囲]
-10~50℃
[最大圧力]
1.0MPaG
[デジタル]
出力信号:RS-232C/RS-485/PROFIBUS/DeviceNet
出力データ:質量流量,容積流量,圧力,温度
[アナログ]
出力信号:DC0~5V
出力データ:質量流量