●コンパクトサイズで、ローコスト
●温度補償範囲が広い
●極めて低いノイズ影響
●接ガス部にインコネルを採用
●CEマーク対応
●EURoHS指令対応
[標準レンジ]
0~10Torr,0~20Torr,0~100Torr,0~200Torr,0~1000Torr
0~1kPa,0~2kPa,0~10kPa,0~100kPa
[精 度]
±0.50%読み値,±0.25%読み値(オプション)
[使用温度]
0~80℃
[出力]
0~5VDC,0~10VDC
■半導体製造プロセス
■吸収式チラー
■レーザ装置
■オートクレーブ
■真空包装
■凍結乾燥プロセス
■真空蒸留プロセス
■石油化学・製薬