特　徴

モデル106Ｆは、低粘度の液体を15ｍＬ/minのように小さい流量から50Ｌ/minのように大きい流量まで精度良く測定できる流量センサです。ペルトン型のマイクロタービン・ホイール（特許）を採用しているので、優れた再現性を持ち、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。接液部の材質は、テフロン、カルレッツ、サファイヤなので、フッ酸、その他の酸、CMPスラリー、溶剤、純水、現像液など、ほとんどすべての低粘度の液体に使用できます。

仕　様

[標準レンジ]
15～100ml/nin,20～200ml/min,50～500ml/min,100～1000ml/min,200～2000ml/min,400～5000ml/min,1～10L/min,3～20L/min,4～30L/min,7～50L/min
[精　度]
±1.0%FS～±3.0%FS,　（再現性）　±0.2%FS
[使用温度]
5～50℃
[出 力]
4～20mA,0～5VDC,0～10VDC,ﾊﾟﾙｽ（Hz）
[使用粘度]
10cst以下
[接続部]
ﾌﾚｱｰﾁｭｰﾌﾞ(ｵｽ）,ｻｲｽﾞ：3/8,3/4ｲﾝﾁ

備 考

マイクロタービン・ホイールは、水力発電所に見られるペルトン水車のコンセプトを採用しています。超小型のホイールは、外径25ｍｍで1.6ｍｍの肉厚です。ホイールに小さなサファイヤのシャフトを圧入し、サファイヤのベアリングで支えられています。ホイールとシャフトは、軽量なので、液体に浮遊した状態で回転します。この浮遊効果により、ホイールはベアリングの中央部で浮いているので、シャフトとベアリングの摩耗がありません。マイクロタービン・ホイールには、同心円上に8つの貫通穴が等間隔に設けられています。ホイールが回転すると、テフロンの側壁を通して赤外ビームがホイールに向けて照射されます。反対側の側壁で受光センサが、貫通穴を通ってくる赤外ビームを検知し、パルス信号に変換します。ホイールがより早く回転すると、パルス数が増え、ホイールが止まると、パルスは出なくなります。